真空鍍膜設(shè)備的金屬罩體通過(guò)安裝孔然后以焊接的方式固定在真空鍍膜機(jī)的外壁上，待冷卻的外壁通過(guò)加強(qiáng)圓槽形成渠道，這樣確保了冷卻的流通，也避免的死角現(xiàn)象的產(chǎn)生，有效的對(duì)鍍膜機(jī)進(jìn)行了快速的降溫，降低了油泵的溫度，加強(qiáng)了冷卻的強(qiáng)度，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安全可靠等有點(diǎn)，在真空鍍膜機(jī)冷卻外殼上包括金屬罩體的原因是數(shù)個(gè)排列有序，并且內(nèi)凹的加強(qiáng)圓槽，所述加強(qiáng)圓槽呈半球形或圓錐臺(tái)形；在所述加強(qiáng)圓槽底部設(shè)有用連接現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的待冷卻外壁的安裝孔，所述金屬罩體通過(guò)安裝孔并以焊接方式固定在現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的待冷卻外壁上，在所述金屬罩體與待冷卻外壁之間通過(guò)加強(qiáng)圓槽構(gòu)成循環(huán)通道，根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼，其特征在于，在所述金屬罩體上相鄰兩所述加強(qiáng)圓槽的縱橫間距為100-300mm,上述加強(qiáng)圓槽槽深為12_15mm,所述金屬罩體的厚度為2-5_，根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼，其特征在于，所述加強(qiáng)圓槽的最大直徑為24-136mm。
真空鍍膜機(jī)主要是指在真空度很高的情況下鍍膜，已經(jīng)被廣泛應(yīng)用，制度薄膜尤其廣泛，其制作的薄膜也被應(yīng)用到各種光電系統(tǒng)和光學(xué)儀器中，數(shù)碼相機(jī)。望遠(yuǎn)鏡，還有汽車(chē)工業(yè)等行業(yè)都用到了！
現(xiàn)代真空鍍膜機(jī)膜厚測(cè)量及監(jiān)控方法最直接的鍍膜控制方法是石英晶體微量平衡法(QCM)，這種儀器可以直接驅(qū)動(dòng)蒸發(fā)源，通過(guò)PID控制循環(huán)驅(qū)動(dòng)擋板，保持蒸發(fā)速率。只要將儀器與系統(tǒng)控制軟件相連接，它就可以控制整個(gè)的鍍膜過(guò)程。但是(QCM)的精確度是有限的，部分原因是由于它監(jiān)控的是被鍍膜的質(zhì)量而不是其光學(xué)厚度。此外雖然QCM在較低溫度下非常穩(wěn)定，但溫度較高時(shí)，它會(huì)變得對(duì)溫度非常敏感。在長(zhǎng)時(shí)間的加熱過(guò)程中，很難阻止傳感器跌入這個(gè)敏感區(qū)域，從而對(duì)膜層造成重大誤差。
光學(xué)監(jiān)控是高精密鍍膜的的首選監(jiān)控方式，這是因?yàn)樗梢愿_地控制膜層厚度(如果運(yùn)用得當(dāng))。精確度的改進(jìn)源于很多因素,但最根本的原因是對(duì)光學(xué)厚度的監(jiān)控。OPTIMALSWA-I-05單波長(zhǎng)光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)，是采用間接測(cè)控，結(jié)合汪博士開(kāi)發(fā)的先進(jìn)光學(xué)監(jiān)控軟件，有效提高光學(xué)反應(yīng)對(duì)膜厚度變化靈敏度的理論和方法來(lái)減少終極誤差，提供了反饋或傳輸?shù)倪x擇模式和大范圍的監(jiān)測(cè)波長(zhǎng)。特別適合于各種膜厚的鍍膜監(jiān)控包括非規(guī)整膜監(jiān)控。
關(guān)鍵詞：真空鍍膜機(jī)
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