真空鍍膜機(jī)改進(jìn)后的鍍膜結(jié)構(gòu)
根據(jù)現(xiàn)有比較片結(jié)構(gòu)在使用過(guò)程中暴露出的問(wèn)題,對(duì)原有通用鍍膜機(jī)比較片結(jié)構(gòu)進(jìn)行多次的改進(jìn),形成以下的結(jié)構(gòu),如圖2(a)、(b)所示。通過(guò)設(shè)計(jì)可重疊放置比較片存儲(chǔ)筒,使比較片機(jī)構(gòu)直徑所占面積減小,但放置的比較片數(shù)量增加到20 片左右, 整個(gè)機(jī)構(gòu)直徑縮小為Φ89mm。結(jié)果可增加較小工件鍍膜盤(pán)上裝載工件的數(shù)量,提高生產(chǎn)效率,還可以提高薄膜監(jiān)控的精度,并降低對(duì)硬件系統(tǒng)的要求,容易實(shí)現(xiàn)對(duì)系統(tǒng)的自動(dòng)控制。
具體動(dòng)作實(shí)施,改進(jìn)后多片比較片機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng),通過(guò)連接板23 和連接塊21 固定在真空室頂板上,比較片機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),由旋轉(zhuǎn)密封軸把運(yùn)動(dòng)輸入真空室內(nèi)的大齒輪,帶動(dòng)小齒輪所在傳動(dòng)軸24 的轉(zhuǎn)動(dòng),最終實(shí)現(xiàn)整個(gè)比較片機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng)。比較片切換比較片時(shí),通過(guò)撥盤(pán)29 轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)工位,比較片存儲(chǔ)筒219 內(nèi)落下一個(gè)比較片,到達(dá)預(yù)設(shè)的位置,同時(shí),切換的比較片隨著工位轉(zhuǎn)動(dòng)落在比較片接受筒212 內(nèi),每切換一次,撥動(dòng)一個(gè)工位。其中,傳動(dòng)軸24、大齒輪、小齒輪和軸承座組成的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)來(lái)完成撥盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)。
其特點(diǎn)是:(1)減小比較片機(jī)構(gòu)直徑的面積,提高裝載鍍制工件的數(shù)量;(2) 增加比較片的數(shù)量,提高生產(chǎn)效率,提高薄膜監(jiān)控的精度,降低對(duì)硬件系統(tǒng)的要求,系統(tǒng)容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。缺點(diǎn):該比較片結(jié)構(gòu)直徑小而長(zhǎng)(Φ89×370),影響其使用的強(qiáng)度和剛度;由于該結(jié)構(gòu)暴露在高溫濺射磨料的真空室內(nèi),影響其轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)性、靈活性,且轉(zhuǎn)動(dòng)位置重復(fù)的一致性較差,維護(hù)清洗頻繁費(fèi)工。
2、鍍膜機(jī)比較片優(yōu)化設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu)
在真空鍍膜機(jī)發(fā)展過(guò)程中,真空鍍膜機(jī)比較片在光學(xué)鍍膜機(jī)中擔(dān)負(fù)著裝載比較片的功能。比較片裝載數(shù)量少,限制光學(xué)薄膜的鍍制層數(shù);比較片有效面積小,光路調(diào)整不方便,光信號(hào)的信噪比差,嚴(yán)重影響光學(xué)薄膜的質(zhì)量。根據(jù)現(xiàn)在鍍膜產(chǎn)品的要求,現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)比較片機(jī)構(gòu),已不能滿足現(xiàn)代光學(xué)30 層以上精密光學(xué)薄膜的鍍膜要求。為解決現(xiàn)有技術(shù)上存在的缺陷,綜合以上兩種比較片結(jié)構(gòu)優(yōu)缺點(diǎn)和新產(chǎn)品鍍膜的要求,創(chuàng)新、優(yōu)化設(shè)計(jì)新一代的比較片機(jī)構(gòu),該裝置要滿足:結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單;比較片裝載方便;重復(fù)定位性好;可靠性高;制造成本低等特點(diǎn)。
真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝置,有比較片裝載換位機(jī)構(gòu)、轉(zhuǎn)動(dòng)密封饋入機(jī)構(gòu)和換位驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),如圖3 所示。
換位驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定在鍍膜機(jī)箱體頂板4 上,由電機(jī)9、主動(dòng)齒輪8、從動(dòng)齒輪7、和定位盤(pán)6 組成,其中從動(dòng)齒輪7 和定位盤(pán)6 固定在軸1 上,定位盤(pán)6 上有3 個(gè)均分的狹縫,槽型光藕17 在狹縫處接受光信號(hào),控制電機(jī)的旋轉(zhuǎn)和停止。
轉(zhuǎn)動(dòng)密封饋入機(jī)構(gòu)由威爾遜密封機(jī)構(gòu)5 和軸承座2 組成,軸承座2 外側(cè)套裝有固定筒3,固定在鍍膜機(jī)箱體頂板4 上。裝載換位機(jī)構(gòu)由撥動(dòng)盤(pán)15、支承盤(pán)16、上盤(pán)14 和比較片存儲(chǔ)筒13 組成。撥動(dòng)盤(pán)15 連接的撥動(dòng)軸11,通過(guò)聯(lián)軸器10 和密封饋入機(jī)構(gòu)的軸1連接。