本實用新型屬于真空鍍膜機設備領域，更具體地說，本實用新型涉及一種用于真空鍍膜機的真空室。
背景技術：
濺射鍍膜的原理是稀薄氣體在異常輝光放電產生的等離子體在電場的作用下，對陰極靶材表面進行轟擊，把靶材表面的分子、原子、離子及電子等濺射出來，被濺射出來的粒子帶有一定的動能，沿一定的方向射向基體表面，在基體表面形成鍍層。
目前真空腔體內部靶材濺射是無法杜絕的現(xiàn)象，對靶材濺射出的靶材材料的有效吸附的最大面積為真空腔體內部表面和遮擋板，由于長時間靶材濺射必然會產生遮擋板表面靶材材料堆積，當遮擋板上堆積的靶材材料達到一定厚度時，需對遮擋板進行清理；現(xiàn)有技術中真空腔體內部的遮擋板結構為平面形狀，采用平面結構的遮擋板，則平面結構堆積的靶材材料較少，需要頻繁進行維護清理，降低了真空鍍膜機的利用效率。
技術實現(xiàn)要素：
本實用新型的一個目的是解決至少上述問題和/或缺陷，并提供至少后面將說明的優(yōu)點。
為了實現(xiàn)根據(jù)本實用新型的這些目的和其它優(yōu)點，提供了一種用于真空鍍膜機的真空室，包括：
真空腔體；
波浪形遮擋板，其可拆卸連接在真空腔體的內壁上；
主傳動輥，其設置在真空腔體的下部居中的位置；所述真空腔體的上部左右對稱設置放卷輥和收卷輥；
三個鍍膜靶材，其等距離地放置在主傳動輥的外圓周圍，且位于主傳動輥的下方。
優(yōu)選的是，所述波浪形遮擋板的在真空腔體的內壁的鋪設面與真空腔體的內壁相匹配。
優(yōu)選的是，所述波浪形遮擋板與真空腔體的內壁的可拆卸連接方式為采用螺栓連接。
優(yōu)選的是，所述波浪形遮擋板與真空腔體的內壁的可拆卸連接方式為：在所述波浪形遮擋板的端部設置有彎折部，所述真空腔體的內壁上設置有與彎折部相匹配的卡槽，所述卡槽和彎折部相匹配連接以實現(xiàn)波浪形遮擋板與真空腔體的內壁的可拆卸連接。
優(yōu)選的是，所述真空腔體上設置有用于連接真空抽氣機組的抽氣孔和用于連接充氣系統(tǒng)的充氣孔。
優(yōu)選的是，還包括導向輥，其設置在真空腔體內，且導向輥分別位于主傳動輥與放卷輥之間、主傳動輥與收卷輥之間。
本實用新型至少包括以下有益效果：本實用新型將真空腔體內部的遮擋板設置為波浪形遮擋板，其有效增加了擋板的整體面積，讓擋板能更好、更多的吸附靶材材料，減少保養(yǎng)次數(shù)，從而增加設備有效生產時間。
本實用新型的其它優(yōu)點、目標和特征將部分通過下面的說明體現(xiàn)，部分還將通過對本實用新型的研究和實踐而為本領域的技術人員所理解。
附圖說明：
圖1為本實用新型的用于真空鍍膜機的真空室的結構示意圖；
圖2為本實用新型的另一種用于真空鍍膜機的真空室的結構示意圖；
圖3為本實用新型的波浪形遮擋板的結構示意圖。
具體實施方式：
下面結合附圖對本實用新型做進一步的詳細說明，以令本領域技術人員參照說明書文字能夠據(jù)以實施。
應當理解，本文所使用的諸如“具有”、“包含”以及“包括”術語并不排除一個或多個其它元件或其組合的存在或添加。
圖1～3示出了本實用新型的一種用于真空鍍膜機的真空室，包括：
真空腔體1；
波浪形遮擋板2，其可拆卸連接在真空腔體1的內壁上；
主傳動輥3，其設置在真空腔體1的下部居中的位置；所述真空腔體1的上部左右對稱設置放卷輥4和收卷輥5；
三個鍍膜靶材6，其等距離地放置在主傳動輥3的外圓周圍，且位于主傳動輥6的下方。
在上述技術方案中，在真空腔體中將被鍍基材從放卷輥經過主傳動輥后收到到收卷輥上，將真空腔體抽到一定的真空度，充入工作氣體，啟動真空鍍膜機的鍍膜控制電源，使三個鍍膜靶材進行反應濺射，當通過主傳動輥、放卷輥和收卷輥連續(xù)傳送的被鍍基材通過該三個鍍膜靶材的濺射區(qū)域時，在其上就沉積了膜層；濺射到真空腔體內的靶材被波浪形遮擋板吸收；通過在真空腔體內部設置波浪形遮擋板，其有效增加了擋板的整體面積，讓擋板能更好、更多的吸附靶材材料，減少保養(yǎng)次數(shù)，從而增加設備有效生產時間，例如，以1000mm*800mm遮擋板為列，更改為波浪形擋板后，理論上能夠增大25％的擋板面積；假如遮擋板進行5次/月保養(yǎng)，而每次保養(yǎng)需3h，現(xiàn)在增加25％的擋板面積，一月就能節(jié)省3*5*25％＝3.75h的保養(yǎng)時間；如果設備以0.8m/min的速度運轉，能多增加0.8*225＝180m的產品生產；如果設備以1.2m/min的速度運轉，能多增加1.2*225＝270m的產品生產。
在上述技術方案中，所述波浪形遮擋板2的在真空腔體的內壁的鋪設面與真空腔體的內壁相匹配，采用這種方式，可以更大面積的吸收濺射靶材，且不會使真空腔體內的空間減少。
在上述技術方案中，所述波浪形遮擋板與真空腔體的內壁的可拆卸連接方式為采用螺栓8連接，采用這種方式，可以方便的對波浪形遮擋板進行拆卸和安裝。
在上述技術方案中，所述波浪形遮擋板2與真空腔體1的內壁的可拆卸連接方式為：在所述波浪形遮擋板2的端部設置有彎折部21，所述真空腔體1的內壁上設置有與彎折部相匹配的卡槽11，所述卡槽11和彎折部21相匹配連接以實現(xiàn)波浪形遮擋板與真空腔體的內壁的可拆卸連接，采用這種方式，可以更方便的對波浪形遮擋板進行拆卸和安裝。
在上述技術方案中，所述真空腔體1上設置有用于連接真空抽氣機組的抽氣孔13和用于連接充氣系統(tǒng)的充氣孔14。
在上述技術方案中，還包括導向輥7，其設置在真空腔體1內，且導向輥7分別位于主傳動輥3與放卷輥4之間、主傳動輥3與收卷輥5之間；采用導向輥可以對被鍍基材進行導向，使其準確的在真空腔內運轉。
盡管本實用新型的實施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實施方式中所列運用，它完全可以被適用于各種適合本實用新型的領域，對于熟悉本領域的人員而言，可容易地實現(xiàn)另外的修改，因此在不背離權利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實用新型并不限于特定的細節(jié)和這里示出與描述的圖例。
技術特征：
1.一種用于真空鍍膜機的真空室，其特征在于，包括：
真空腔體；
波浪形遮擋板，其可拆卸連接在真空腔體的內壁上；
主傳動輥，其設置在真空腔體的下部居中的位置；所述真空腔體的上部左右對稱設置放卷輥和收卷輥；
三個鍍膜靶材，其等距離地放置在主傳動輥的外圓周圍，且位于主傳動輥的下方。
2.如權利要求1所述的用于真空鍍膜機的真空室，其特征在于，所述波浪形遮擋板的在真空腔體的內壁的鋪設面與真空腔體的內壁相匹配。
3.如權利要求1所述的用于真空鍍膜機的真空室，其特征在于，所述波浪形遮擋板與真空腔體的內壁的可拆卸連接方式為采用螺栓連接。
4.如權利要求1所述的用于真空鍍膜機的真空室，其特征在于，所述波浪形遮擋板與真空腔體的內壁的可拆卸連接方式為：在所述波浪形遮擋板的端部設置有彎折部，所述真空腔體的內壁上設置有與彎折部相匹配的卡槽，所述卡槽和彎折部相匹配連接以實現(xiàn)波浪形遮擋板與真空腔體的內壁的可拆卸連接。
5.如權利要求1所述的用于真空鍍膜機的真空室，其特征在于，所述真空腔體上設置有用于連接真空抽氣機組的抽氣孔和用于連接充氣系統(tǒng)的充氣孔。
6.如權利要求1所述的用于真空鍍膜機的真空室，其特征在于，還包括導向輥，其設置在真空腔體內，且導向輥分別位于主傳動輥與放卷輥之間、主傳動輥與收卷輥之間。
技術總結
本實用新型公開了一種用于真空鍍膜機的真空室，包括：真空腔體；波浪形遮擋板，其可拆卸連接在真空腔體的內壁上；主傳動輥，其設置在真空腔體的下部居中的位置；所述真空腔體的上部左右對稱設置放卷輥和收卷輥；三個鍍膜靶材，其等距離地放置在主傳動輥的外圓周圍，且位于主傳動輥的下方；本實用新型將真空腔體內部的遮擋板設置為波浪形遮擋板，其有效增加了擋板的整體面積，讓擋板能更好、更多的吸附靶材材料，減少保養(yǎng)次數(shù)，從而增加設備有效生產時間。
