1、氧化物
一氧化硅SiO、二氧化硅SiO2、二氧化鈦TiO2、二氧化鋯ZrO2、二氧化鉿HfO2、一氧化鈦TiO、五氧化三鈦Ti3O5、五氧化二鈮Nb2O5、五氧化二鉭Ta2O5、氧化釔Y2O3、氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。
2、氟化物
氟化釹NbF3、氟化鋇BaF2、氟化鈰CeF3、氟化鎂MgF2、氟化鑭LaF3、氟化釔YF3、氟化鐿YbF3、氟化鉺ErF3等高純氟化物。
3、其它化合物
硫化鋅ZnS、硒化鋅ZnSe、氮化鈦TiN、碳化硅SiC、鈦酸鑭LaTiO3、鈦酸鋇BaTiO3、鈦酸鍶SrTiO3、鈦酸鐠PrTiO3、硫化鎘CdS等真空鍍膜材料。
4、金屬鍍膜材料
高純鋁Al、高純銅Cu、高純鈦Ti、高純硅Si、高純金Au、高純銀Ag、高純銦In、高純鎂Mg、高純鋅Zn、高純鉑Pt、高純鍺Ge、高純鎳Ni、高純金Au、金鍺合金AuGe、金鎳合金AuNi、鎳鉻合金NiCr、鈦鋁合金TiAl、銅銦鎵合金CuInGa、銅銦鎵硒合金CuInGaSe、鋅鋁合金ZnAl、鋁硅合金AlSi等金屬鍍膜材料。
以上就是真空鍍膜機(jī)最常見(jiàn)的真空鍍膜材料，需要注意的是在真空鍍膜機(jī)中每種材料使用的真空鍍膜機(jī)類(lèi)型也是不一樣的。
